|
Исследователи из Университета Нагои и компании Bando Chemical Industries (Япония) представили TFT-матрицу на основе углеродных нанотрубок для дальнейшего использования в производстве гибких дисплеев, сообщает «Компьюлента» со ссылкой на материалы 73-й конференции Японского общества прикладной физики
При изготовлении новинки применялся метод флексографии (печать с эластичных форм), а мобильность носителей заряда достигла 112 см²/В•с. Флексографическая печать - это способ высокой печати с использованием гибких резиновых форм и быстросохнущих жидких красок. Но прежде всего это гибкая фотополимерная форма (полученная методом быстрой УФ-полимеризации), краска с которой под низким давлением переносится непосредственно на материал. Точность флексографической печати несколько ниже, чем у классической глубокой печати (имеющей тот же функциональный принцип), зато пропускная способность намного выше, чем, например, у печати струйной. Японцы выбрали флексографию из-за её высоких скоростных характеристик, низкой стоимости расходных материалов и обслуживания, а также благодаря совместимости с непрерывными производственными процессами типа «рулонной технологии». Все процессы, участвовавшие в получении TFT-матриц на основе углеродных нанотрубок (CNT-TFT), проводились при нормальных давлении и температуре. Для создания электродов затвора и стока/истока применялись серебряные наночастицы, а в формировании запирающих диэлектрических плёнок использовался полиамид-имидный полимер. Наконец, собственно CNT применялись для создания проводящих каналов TFT. Углеродные нанотрубки были получены методом газофазной фильтрации, а наносились с помощью сухого трансфера, созданного авторами работы. В качестве субстрата использовалась плёнка полиэтиленнафталата, на поверхность которой методом флексографии со скоростью 6,6 см/с наносился резист, послуживший основой для пробитой кислородной плазмой CNT-маски. В результате была получена TFT-матрица со следующими рабочими характеристиками: длина канала - 115 мкм, мобильность носителей заряда - 112 см²/В•с, соотношение on/off - 104. Полученной мобильности зарядов, как сообщается, достаточно для использования TFT-матрицы в производстве гибких дисплеев.
| |